Високовакуумні датчики тиску Ulvac

Наши партнеры ArtmMisto

Датчик абсолютного тиску магнетронного типу з холодним катодом Ulvac G-Tran SC1 - надійне і точне вимірювання вакууму. Завдяки відсутності катода розжарювання, датчики Ulvac G-Tran SC1 прості в експлуатації і мають тривалий термін служби.

Датчики лінійки Ulvac G - TRAN SP 1 знаходять своє застосування для таких технологічних процесів, як:

• Виробництво фотоелектричних елементів, напівпровідників, елементів опто- і мікроелектроніки
• Контроль процесів відкачування шлюзових і високовакуумних камер при одиничному або послідовному виробництві напівпровідникових пластин
• Вимірювання тиску в діапазоні низького вакууму в загальнопромислових процесах, таких як вакуумні печі, установок нанесення покриттів і т.п.

продовжити

Новітня розробка компанії ULVAC - іонізаційний датчик з двома катодами Ulvac G - TRAN SH 2-1 / SH 2-2 c управлінням зі зворотним зв'язком основними параметрами вимірювання. Компанія ULVAC розробила, запатентувала цю лінійку датчиків під назвою - мульти-іонізаційний датчик (Multi Ionization Gauge - patent pending).

Управління струмом емісії, процесом дегазації і вибором вимірювальної головки відповідно до діапазону вимірювання здійснюються автоматично.

Особливістю даної лінійки датчиків тиску є можливість вимірювання вакууму в широкому діапазоні. При цьому індикація цифрового сигналу може здійснюватися по одному каналу, що дозволяє знизити витрати по обслуговуванню і експлуатації вимірювального обладнання.

продовжити