UH Vacuum: сверхвисоковакуумних насоси

Наши партнеры ArtmMisto

Сверхвисоковакуумних НАСОСИ CapaciTorr

Насоси CapaciTorr ідеально підходять для досягнення найвищих показників швидкості і для режимів з високою газової навантаженням, коли потрібна підвищена робоча температура для збільшення поглинання матеріалу. Ці насоси виготовляються з високопористих спечених матеріалів для забезпечення максимальних робочих параметрів (швидкості і продуктивності) і оптимальних механічних характеристик.

Серія CapaciTorr вирізняється новою конструкцією фланця, який робить загальну систему насоса більш простий і компактної, з перевагами меншою настановної поверхні і надійності в порівнянні з попередніми серіями.

Насоси CapaciTorr широко використовуються в різних галузях, автономно або в комбінації зі стандартними ультрависоковакуумнимі насосами. Зокрема, вони можуть застосовуватися для підвищення ефективності вакуумирования в універсальних вакуумних системах, за рахунок їх високої швидкості перекачування водню та інших активних газів.

Спеціальні конфігурації гетерні матеріалів, які складаються з високопористих гетерні елементів, забезпечують оптимізовані характеристики звичайних НРГ насосів, в тому числі, більш високу продуктивність і завдяки цьому - більш довгий термін служби з великою кількістю циклів продувки - реактивації. Як гетерні матеріалу в насосах CapaciTorr використовується St 172, спечений матеріал на основі широко розповсюдженого гетерні сплаву St 707.

Стандартні види застосування CapaciTorr - прискорювачі часток, джерело синхротронного випромінювання і відповідне обладнання, системи аналізу поверхонь і інші вакуумні системи в сфері наукових досліджень. Крім того, насоси CapaciTorr знаходять широке застосування в обладнанні для виробництва напівпровідників у якості технологічних насосів в таких процесах, як металізація напиленням, де використовуються переваги того, що НРГ матеріали не перекачують інертні гази. В таких режимах, де від вакуумних насосів часто потрібна робота в циклах з високим навантаженням, насоси CapaciTorr вигідно відрізняються здатністю витримувати множинні впливу повітря без надмірного погіршення їх поглинання.

CapaciTorr D 50 Швидкість відкачки H 2 CO 55 л / сек 30 л / сек Сорбционная продуктивність H 2 CO CO разом 78 Торр ∙ л 0,1 Торр ∙ л 70 Торр ∙ л Тиск старту ........................ ............... Граничний тиск ........................... підключається фланець ........................... Сплав матеріалу газовбирачів ...... Склад сплаву ............................................. Маса газовбирачів ........................... Площа газовбирачів ..................... Контролер ................................................ <10 -6 мбар <10 -12 мбар CF 35 St 172 ZrVFe 7,8 гр 66 см2 SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 100 Швидкість відкачки H 2 CO 100 л / сек 60 л / сек Сорбционная продуктивність H 2 CO CO разом 135 Торр ∙ л 0,2 Торр ∙ л 120 Торр ∙ л Тиск старту ........................ ............... Граничний тиск ........................... підключається фланець ........................... Сплав матеріалу газовбирачів ...... Склад сплаву ............................................. Маса газовбирачів ........................... Площа газовбирачів ..................... Контролер ................................................ <10 -6 мбар <10 -12 мбар CF 35 St 172 ZrVFe 13,5 гр 114 см2 SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 200 Швидкість відкачки H 2 CO 200 л / сек 140 л / сек Сорбционная продуктивність H 2 CO CO разом 280 Торр ∙ л 0,56 Торр ∙ л 252 Торр ∙ л Тиск старту ........................ ............... Граничний тиск ........................... підключається фланець ........................... Сплав матеріалу газовбирачів ...... Склад сплаву ............................................. Маса газовбирачів ........................... Площа газовбирачів ..................... Контролер ................................................ <10 -6 мбар <10 -12 мбар CF 35 St 172 ZrVFe 28 гр 238 см2 SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 400-2 Швидкість відкачки H 2 CO 400 л / сек 180 л / сек Сорбционная продуктивність H 2 CO CO разом 450 Торр ∙ л 0,9 Торр ∙ л 400 Торр ∙ л Тиск старту .................. ..................... Граничний тиск ........................... підключається фланець ........................... Сплав матеріалу газовбирачів ...... Склад сплаву .......................................... ... Маса газовбирачів ........................... Площа газовбирачів ..................... Контролер ................................................ <10 -6 мбар <10 -12 мбар CF 35 St 172 ZrVFe 45 гр 380 см2 SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 1000 Швидкість відкачки H 2 CO 1000 л / сек 600 л / сек Сорбционная продуктивність H 2 CO CO разом 1360 Торр ∙ л 4 Торр ∙ л тисяча двісті двадцять чотири Торр ∙ л Тиск старту .............................. ......... Граничний тиск ........................... підключається фланець ........................... Сплав матеріалу газовбирачів ...... Склад сплаву ............................................. Маса газовбирачів ... ........................ Площа газовбирачів ..................... Контролер ................................................ <10 -6 мбар <10 -12 мбар CF 63 / CFF 100 St 172 ZrVFe 136 гр 1140 см2 SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 2000 Швидкість відкачки H 2 CO 2000 л / сек 1000 л / сек Сорбционная продуктивність H 2 CO CO разом 2250 Торр ∙ л 5 Торр ∙ L 2000 Торр ∙ л Тиск старту .............................. ......... Граничний тиск ........................... підключається фланець ........................... Сплав матеріалу газовбирачів ...... Склад сплаву ............................................. Маса газовбирачів ... ........................ Площа газовбирачів ..................... Контролер ................................................ <10 -6 мбар <10 -12 мбар CF 100 / CFF 160 St 172 ZrVFe 225 гр 1900 см2 SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 3500 Швидкість відкачки H 2 H 2O CO N 2 3600 л / сек 2700 л / сек 1800 л / сек 1000 л / сек Сорбционная продуктивність H 2 CO CO разом 3950 Торр ∙ л 12 Торр ∙ л 3100 Торр ∙ л тиск старту ....................................... Граничний тиск ........................... підключається фланець ........................... Сплав матеріалу газовбирачів ...... Склад сплаву .................. ........................... Маса газовбирачів ........................... Площа газовбирачів ..................... Контролер ................................................ <10 -6 мбар <10 -12 мбар CF 160 / CFF 200 St 172 ZrVFe 395 гр 2964 см2 SIP Power, NEG Power Блоки живлення для насосів CapaciTorr D 400-2, D 200, D 100 та D 50 блоки живлення CapaciTorr CF35 є електронні прилади, спеціально розроблені для контролю процесу активації гетерні насосів. Прилади перетворюють надходить до мережевої напруги (110-240 B змін. Струму, 50-60 Гц) в напругу постійного струму (8,6-16,5 B пост. Струму) і підводять живлення до гетерні насосів за допомогою електронної плати мікропроцесорного управління. Ці прилади призначені для управління гетерні насосами в трьох різних режимах: • Активація • Активація за часом • Кондиціювання Контролер SIP POWER Контролер SIP POWER здійснює управління модулями іонних насосів NEXTorr. Контролер включає в себе внутрішню систему для вимірювання струму іонізації, а також систему автоматичного перемикання діапазонів вимірювання. За допомогою спеціальної програми можна одночасно контролювати до 128 модулів SIP POWER в локальній мережі LAN. Ключові особливості: БЕЗПЕЧНИЙ роз'єм і взаімоблокіровка Опція - буквено-цифровий дисплей Світлодіоди індикації статусу і інтерфейс RS485 в моделях без буквено-цифрового дисплея Інтерфейс передачі даних: Ethernet, USB, інтерфейс RS485 (тільки в моделях без буквено-цифрового дисплея)

Замовити